VIGOR מוצר אקספרס|מתג זרימה מסדרת VEFS2

מונעת על ידי בינה מלאכותית, מחשוב-בעלי ביצועים גבוהים (HPC), אלקטרוניקה לרכב ויישומי האינטרנט של הדברים, תעשיית המוליכים למחצה עוברת שינוי מהיר. עם זאת, הצמיחה המדהימה הזו הציגה גם אתגרים תפעוליים חדשים. כאשר קנה המידה של הייצור מתרחב בקצב חסר תקדים, גזים מיוחדים בסיכון גבוה כגון סילאן ופוספין נמצאים בשימוש נרחב ביצורי מוליכים למחצה. כל דליפת גז בלתי מבוקרת הנגרמת כתוצאה מקרע בצנרת, אביזרים רופפים, כשל באטימה או התקנה לא נכונה עלולה להסלים במהירות לאירוע בטיחותי חמור, מאיים על בטיחות העובדים, פגיעה בציוד ייצור קריטי, וגורם להשבתה לא מתוכננת יקרה. על רקע זה, מתג הזרימה העודפת (EFS) של VIGOUR, עם עיצוב ההפעלה המכני בלבד שלו ותאימותו יוצאת הדופן של {-טוהר- אולטרה-גבוהה (UHP), הפך להגנה בטיחותית הכרחית עבור מערכות אספקת גז מיוחדות, כולל ארונות גז ו-VMBs, בייצור מוליכים למחצה ברחבי העולם.

עקרון התכנון המרכזי של VIGOR EFS הוא לזהות תנאי זרימה חריגים ולהגיב בצורה מהימנה. כאשר כשל בצנרת במורד הזרם גורם לגל זרימה פתאומי ומוגזם החורג מנקודת היציאה הקריטית-שקבועה מראש, המכשיר מפעיל מיד אות תגובה. אות זה מועבר באמצעות פתיחה או סגירה של מגעים חשמליים במתג ה-reed המובנה-, אשר לאחר מכן מסונכרן ונשלח למערכת SCADA או למערכת ניטור הגז (GMS). על ידי מתן התראות- בזמן אמת ואפשר תגובות אוטומטיות מהירות, הוא תומך בניהול בטיחות יזום, מפחית ביעילות סיכונים פוטנציאליים ומחזק את האמינות הכוללת של רשת אספקת הגז.

בתהליכי ייצור מוליכים למחצה, כל רכיב במערכת הגז יכול להפוך למקור פוטנציאלי לזיהום. אפילו חלקיקים זעירים, זיהומים מתכתיים או ספיחת פני השטח יכולים לפגוע באיכות הפרוסות ולהפחית את תפוקת הייצור. לכן, VIGOR מקפידה על הסטנדרטים המחמירים של תעשיית המוליכים למחצה כדי להבטיח טוהר החומר, ניקיון פני השטח ויציבות תפעולית.

מבחינת תקני החומר, VIGOR משתמשת בלעדית בפלדת אל חלד 316L המיוצרת באמצעות טכנולוגיית התכה כפולה של VIM/VAR-. תהליך מתכות מתקדם זה מפחית באופן משמעותי תכלילים מתכתיים ושאריות זיהומים, מבטיח עמידות מצוינת בפני קורוזיה וממזער את הסיכון לזיהום גזים. לטיפול פני השטח, כל המוצרים עוברים אלקטרופוליש מתקדם (EP), תוך שמירה על חספוס פני השטח הפנימי של 5-10 מיקרון. פנים חלק ונקי שכזה מונע ממולקולות גז להיספג על הקירות הפנימיים ומבטל משקעים של חלקיקים, תומך באספקת גז יציבה וזיהום-ללא תשלום.

יתר על כן, VIGOR EFS מציעה מבחר רחב של נקודות נסיעה קריטיות ואפשרויות תצורה גמישות כדי להתאים לתרחישי יישומים מגוונים. באמצעות התאמת פרמטרים פשוטה, המשתמשים יכולים לקבוע בקלות את המודל המדויק בהתבסס על סוגי גז ספציפיים, תנאי לחץ הפעלה וקצבי זרימה מקסימליים. רמה גבוהה זו של התאמה אישית מבטיחה הגנה-על זרימת יתר מדויקת ואמינה עבור יישומי גז שונים-בטוהר- במיוחד בייצור מודרני של מוליכים למחצה.

  מתג זרימה ליישומי זרימה גבוהה

 זמין עם קו ראשי אופקי או אנכי

 ירידת לחץ מינימלית דרך המכשיר

 נירוסטה SS 316L