תובנה בתעשייה|עד כמה קריטי טוהר הגז בייצור מוליכים למחצה?

קונצנזוס מבוסס היטב-שורר בייצור מוליכים למחצה: הגבול העליון של ביצועי השבבים מוגדר על ידי התכנון, בעוד שהגבול התחתון של תפוקת הייצור תלוי בטוהר החומר.

התמונה מקורה מהאינטרנט.

מניקוי פרוסות ותצהיר-סרט דק ועד תחריט וסימום, תהליך הייצור של רקיק בודד בגודל 12- אינץ' כולל יותר מ-30 סוגים של גזי תהליך, כולל סילאן, אמוניה, חנקן טריפלואוריד, טונגסטן הקספלואוריד, מימן כלורי ועוד. כל גז חייב להיות מועבר לתא התגובה בטוהר גבוה במיוחד.

זיהומים עקבות ברמת ה-ppb (לחות, חמצן, חלקיקים) הנכנסים לצנרת הגז עלולים לעורר פגמים בסרט דק וזיהום ממשק פנים, ולגרור ישירות את תפוקת הייצור. אם לוקחים את תהליך ה-3nm כדוגמה, כל שבב בודד שווה מאות דולרים אמריקאים; מספיקה תנודה של 1% בתשואה כדי למחוק רווחים המוערכים בעשרות מיליונים.

בתעשיית המוליכים למחצה, "טוהר גבוה" אינו שווה ל"מוכן לתהליך-. האתגר האמיתי טמון בשמירה על טוהר - בשמירה על זיהום-חופשי של גז לאורך כל נתיב האספקה ​​ממקור הגז לנקודת השימוש (POU).

שלושה אמצעי הגנה מרכזיים פועלים במקביל כדי להשיג זאת:

(1) בחירת חומרים: גופי צינורות ושסתומים מיוצרים מפלדת אל חלד 316L מומסת כפולה של VIM+VAR כדי למזער את יציאת הגזים האלמנטרית מחומרי בסיס.

(2) גימור משטח: חספוס פני השטח הפנימי Ra פחות או שווה ל-0.25 מיקרומטר (10 מיקרון) עם טיפול אלקטרופוליש (EP) להפחתת הידבקות חלקיקים וספיחת לחות.

(3) שלמות איטום הרמטי: קצב דליפת הליום קטן או שווה ל-1×10⁻⁹ atm·cc/sek כדי לחסום לחלוטין חדירת זיהום חיצוני.

קו המוצרים של VIGOR VUPS Ultra-High Purity מכסה את שרשרת אספקת הגז המלאה התואמת לתקני SEMI, כולל אביזרי אטימה-מתכתית של VCR, שסתומי דיאפרגמה בטוהר- גבוה ומווסת לחץ דו--שלבי.

כל המוצרים מורכבים, נבדקים וארוזים-שקית כפולה- בחדרים נקיים Class 100 לפני המשלוח. מה שהלקוחות מקבלים הוא לא רק שסתומים בודדים, אלא מערכת הבטחת טוהר-שלמה-ולשחק במיוחד-.

מוצרי VIGOR פעלו באופן אמין במערכות מיוחדות לאספקת גז וצינורות אספקת גז CVD/PVD במספר רב של מותגי רקיק, התואמים לגזי תהליך קריטי כגון סילאן, חנקן טריפלואוריד וטריכלוריד בורון.

ייצור מוליכים למחצה הוא מירוץ אינסופי נגד מזהמים - והמשימה של VIGOUR היא להבטיח את קו הזינוק הנקי ביותר האפשרי עבור המירוץ הזה.