VIGOUR>>מפרט תהליך פוטו-וולטאי VS001B
תְחוּם
מסמך זה מפרט הנחיות המשמשות את חברת VIGOR לייצור מוצרי נירוסטה המיועדים ליישומים פוטו-וולטאיים (PV). יש להשתמש במסמך זה בשילוב עם קטלוגים של מוצרים, עלונים טכניים ודוחות לקבלת מידע מלא על המוצר. היישום של מסמך זה מוגבל לרכיבי מערכת רטובים.
לְעַצֵב
המוצרים מתוכננים מתוך מחשבה על תקני תעשיית פונקציונליים ספציפיים. כאשר קיימות תוצאות בדיקה ספציפיות בספרות, הסטנדרטים הבאים חלים:
■ ניתוח לחות בהתאם ל-ASTM F1397,"שיטת בדיקה סטנדרטית לקביעת תרומת לחות על ידי רכיבי מערכת הפצת גז"
■ ניתוח פחמימנים בהתאם ל-ASTM F1398,"שיטת בדיקה סטנדרטית לקביעת תרומת הפחמימנים הכוללת על ידי רכיבי מערכת הפצת גז"
■ ניקיון יוני בהתאם ל-ASTM F1374,"שיטת בדיקה סטנדרטית לקביעת חומרי מיצוי יוניים / אורגניים של משטחים פנימיים-IC/GC/FTIR עבור רכיבי מערכות הפצת גז."
הנחיות חומרים
נירוסטה היא החומר המועדף-תעשייתי עבור מוצרי UHP המשמשים במערכות גז, בשל התכונות המובנות של עמידות בפני קורוזיה וחמצון. פלדת אל-חלד מסוג AISI 316L (UNS S31603) נמוכה- נמצאת בשימוש הנפוץ ביותר בתעשייה בשל העמידות בפני קורוזיה בין-גרגירית בעקבות ריתוך או הפגת מתח.
מלאי מוט נירוסטה תואם את התקנים הבאים:
■ ASTM A479, "פסים וצורות עמידים אל חלד וחום- לשימוש בדוודים ובכלי לחץ אחרים"
■ ASTM A484, "מפרט לדרישות כלליות לסורגים עמידים בפני אל-חלד וחום-"
■ ASTM A276, "אל חלד וחום-עמידים בפני סורגים וצורות"
■ SEMI F20-0305, "מפרט עבור מוט נירוסטה 316L, פרזול, צורות אקסטרוד, לוחות וצינורות עבור רכיבים המשמשים ביישומי ייצור מוליכים למחצה למטרות כלליות, בטוהר גבוה ובטוהר גבוה במיוחד."
■ עיבוד פלדה ראשוני הוא פירוק חמצן של ארגון (AOD) או התכת אינדוקציה בוואקום (VIM). ניתן להשתמש בפעולה משנית של התכה מחדש, כגון רימלט קשת ואקום (VAR) לניקיון נוסף של רכיבים מורטבים.
■ דרישות עיקריות של יסודות מסוימים בתוך האיפור הכימי- הוחמרו על ידי VIGOR לצורך עקביות רבה יותר של האיפור הכימי-; ראה טבלה 1.
טבלה 1: מפרטי VIGOR, אחוז משקל
אימותים של מוצרי נירוסטה כוללים בין היתר את הדברים הבאים:
■ תאימות החומר מאומתת בהתאם לנוהל A של ASTM A262, "שיטות עבודה סטנדרטיות לזיהוי רגישות להתקפה בין-גרעינית בפלדות אל-חלד אוסטיניות".
■ הרכב כימי מאומת בהתאם ל-ASTM A751, "שיטות בדיקה, פרקטיקות ומינוח לניתוח כימי של מוצרי פלדה".
■ איכות פני השטח מאומתת באמצעות בדיקות אולטרסאונד בהתאם ל-ASTM E214, "תרגול לבדיקת אולטרסאונד שקועה בשיטת השתקפות באמצעות גלים אורכיים פועמים" או באמצעות בדיקת זרם מערבולת המבוצעת בהתאם לתקני Swagelok.
■ תכלילים מזוהים על-ידי ביצוע מבחן JK בהתאם ל-ASTM E45, "פרקטיקה סטנדרטית לקביעת תוכן ההכללה של פלדה, שיטה A", עם דירוגים המבוססים על לוח I-r.
ייצור וגימור פני השטח
במהלך הייצור, מידות וגימורים משטחים מנוטרים מקרוב. לכל רכיב במכונה יש גימורי משטח עדינים במיוחד, מעברים חלקים, נתיבי זרימה מלאים וקצוות ריתוך מרובעים כדי למזער את מספר החלקיקים הנלכדים או שנוצרו.
■ קריטריוני חספוס/גימור פני השטח מבוססים על SEMI F19,"מפרט למצב פני השטח של המשטחים הרטובים של רכיבי נירוסטה" והנהלים של SEMI F37, "שיטה לקביעת פרמטרים של חספוס פני השטח עבור רכיבי מערכת הפצת גז".
■ חספוס המשטח הרטוב Ra של מוצרי פלדת אל-חלד בטוהר אולטרה-גבוה לאחר ליטוש אלקטרוליטי הוא פחות מ-8μin (0.20μm), וחספוס המשטח הרטוב Ra ללא ליטוש אלקטרוליטי הוא פחות מ-15μin (0.40μm).
■ מספרי החספוס של VIGOR המתפרסמים בקטלוגים של מוצרים מתייחסים לממוצע התהליך, או לערך החספוס המייצג את הממוצע האריתמטי עבור תהליך ייצור נתון בהתאם ל-SEMI F37.
■ חספוס/גימור פני השטח מאומת על ידי שימוש במכשיר פרופיל מתאים בהתאם ל-ASME B46.1. המדידות נלקחות על פני האורך המרבי הזמין של האביזר או קדח השסתום, למעט משטחים מחודדים, צמתים או ריתוכים.
ליטוש אלקטרו ופסיביות
סעיף זה מתייחס למוצרים מלוטשים אלקטרו בלבד.
המשטחים הרטובים של אביזרי וגופי שסתומים עוברים ליטוש אלקטרו כדי לשפר את תנאי פני השטח וליצור שכבת משטח עמידה בפני קורוזיה של תחמוצת כרום. לאחר ליטוש אלקטרו, כל המשטחים עוברים פסיבציה להסרת ברזל חופשי.
■ תהליכי ליטוש אלקטרו מבוססים על ASTM B912,"מפרט סטנדרטי לפסיבציה של פלדות אל-חלד באמצעות ליטוש אלקטרו" ומעובדים באמצעות קיבוע מותאם אישית.
■ תהליכי ניקוי פסיבציה ו-אלקטרופוליש מבוססים על ASTM A380, "ניקוי, הסרת אבנית ופסיבציה של חלקים, ציוד ומערכות נירוסטה".
■ אימות ליטוש אלקטרו ופסיבציה מתבצע בהתאם לשיטות הבדיקה בסעיף 6 של ASTM B912,"מפרט סטנדרטי לפסיבציה של פלדות אל-חלד באמצעות אלקטרופוליש".
טמפרטורת פיצה קריטית אלקטרוכימית
סעיף זה מתייחס למוצרים מלוטשים אלקטרו בלבד.
בדיקת טמפרטורת פיתולים אלקטרוכימית קריטית (CPT), המבוססת על ASTM G150, משמשת לקביעת עמידות בפני קורוזיה מקומית. בדיקת CPT מודדת את הטמפרטורה שבה צפיפות הזרם עולה במהירות מעבר לגבול שנקבע בפוטנציאל חשמלי מוגדר. נעשה שימוש בתמיסת נתרן כלורי, והפוטנציאל החשמלי נשמר קבוע באזור הפסיבציה. טמפרטורת הקורוזיה הקריטית צריכה להיות גדולה מ-10 מעלות.
ניקוי וייבוש
מערכת ניקוי המים DI סגורה לסביבה החיצונית ובכך מגבילה את זיהום החלקיקים. המוצרים מנוקים בתהליכים מרובי-שלבים באמצעות סדרה של שטיפה אולטראסונית מחוממת, שטיפת מים DI ותא ייבוש מסונן. חומרי הניקוי נבחרים בהתאם ל-ASTM G127.
■ מאפייני המים DI מבוססים על ההנחיות של ASTM D5127 Type E-3, "מדריך סטנדרטי למים טהורים במיוחד המשמשים בתעשיות האלקטרוניקה והמוליכים למחצה".
טבלה 2: מאפייני מים DI
הרכבה ובדיקה
כדי להגן על חלקים מפני זיהום באוויר, חלקים מכוסים ומועברים ישירות ממערכת הניקוי שהוקמה לתא עבודה נקי להרכבה ובדיקה.
אריזה וזיהוי
■ נהלי אריזה וזיהוי עומדים בדרישות של SEMI E49.6, "מדריך לנוהלי הרכבה ובדיקה של תת-מערכות-מערכות נירוסטה" עבור מוצרי נירוסטה.
מוצרים ארוזים כדי לשמור על מוצרים נקיים ממזהמים חיצוניים במהלך המשלוח. מידע זיהוי ועקיבות גלוי ללא פתיחת המוצר.
