INTEGRATED GAS SYSTEM>>שיתוף סדרת מוצרים של IGS
VIGOR מספקת מערכות גז משולבות (IGS) מתקדמות שתוכננו במיוחד לבקרת גז -בטוהר גבוה בתעשיית ייצור המוליכים למחצה. הפתרונות שלנו משלבים הנדסה חדשנית עם תקני ייצור מחמירים כדי להבטיח אמינות, קומפקטיות וביצועים מעולים ביישומים קריטיים.
תכונות המוצר
- משמש לבקרת גז בתעשיית המוליכים למחצה
- עיצוב מודולרי
- כל הרכיבים מורכבים על פני השטח בהתאם לתקן SEMl
- הגודל הוא בערך 1/3 מהפאנל המסורתי
- חומר סטנדרטי SEMl, תהליך ליטוש אלקטרו וריתוך מסלולי
- Wseal ו-C-חותם אופציונליים
- שקיות כפולות בחדר נקי
- כל המוצרים, למעט "סוגריים", מיוצרים כולם בהתאם למפרט התהליך VS001A
ווסתי לחץ IGS סדרת VIR
1. מקסימום לחץ עבודה: 150 psig
2. מקסימום טמפרטורת עבודה: -40 מעלות F ~ 140 מעלות F (-40 מעלות ~ 60 מעלות)
3. לחץ יציאה: 0~100 psig
4. גימור פני השטח: מקסימום. 5uin. רא
5. חומר: 316L VIM-VAR
6. מושב שסתום: PCTFE (PFA/Vespel אופציונלי)
7. קיבולת זרימה: קורות חיים=0.08

שסתומי דיאפרגמה IGS מסדרת VID
1. מקסימום לחץ עבודה: 150 psig
2. מקסימום טמפרטורת עבודה: PCTFE 14 מעלות F ~ 176 מעלות F (-10 מעלות ~ 80 מעלות); PFA 14 מעלות F~302 מעלות F (-10 מעלות ~ 150 מעלות)
3. ללא עיצוב ללא מוצא
4. המשטח הרטוב מטופל ב-EP, Max. 5uin. רא.
5. חומר: 316L VIM-VAR
6. 100% הליום-נבדקה-
7. קיבולת זרימה: קורות חיים=0.1

שסתומי בקרת זרימה של IGS מסדרת VIM
1. מקסימום לחץ עבודה: 150 psig
2. מקסימום טמפרטורת עבודה: 14 מעלות F ~ 302 מעלות F (-10 מעלות ~ 150 מעלות)
3. איטום: FKM
4. המשטח הרטוב מטופל ב-EP, Max. 5uin. רא
5. קיבולת זרימה: קורות חיים=0.03

שסתומי סימון IGS מסדרת VICV
1. מקסימום לחץ עבודה: 150 psig
2. מקסימום טמפרטורת עבודה: 14 מעלות F ~ 176 מעלות F (-10 מעלות ~ 80 מעלות)
3. גימור פנים: מקסימום. 5uin. רא
4. לחץ פיצוח: 0.33 psig
5. קיבולת זרימה: קורות חיים=0.2

מצע VlB Series (חותם C-)
1. ג-חותם
2. התקנה לא- קבועה כדי להבטיח את אפקט האיטום
3. החלק הרטוב מטופל ב-EP
4. גימור פני השטח: Max. 5uin.Ra
5. חומר: 316L VIM-VAR

למה לבחור ב-VIGOR IGS?
המערכות שלנו מייצגות סינרגיה של הנדסה מדויקת ותכנון מעשי, ומספקות:
- יעילות שטח: גודל לוח מופחת באופן דרמטי.
- אולטרה-טוהר גבוה: חומרים ותהליכים המותאמים ליישומים בדרגת מוליכים למחצה-.
- גמישות מודולרית: קל לתצורה, הרחבה ותחזוקה.
- אמינות מוכחת: בדיקות מחמירות ותאימות לתקן SEMI-.
ב-VIGOUR, אנחנו מציעים יותר מסתם רכיבים-אנחנו מספקים פתרונות משולבים שמביאים את הרעיונות שלך לחיים בביטחון ובדיוק.


