INTEGRATED GAS SYSTEM>>שיתוף סדרת מוצרים של IGS

Dec 25, 2025

השאר הודעה

INTEGRATED GAS SYSTEM>>שיתוף סדרת מוצרים של IGS

 

 

VIGOR מספקת מערכות גז משולבות (IGS) מתקדמות שתוכננו במיוחד לבקרת גז -בטוהר גבוה בתעשיית ייצור המוליכים למחצה. הפתרונות שלנו משלבים הנדסה חדשנית עם תקני ייצור מחמירים כדי להבטיח אמינות, קומפקטיות וביצועים מעולים ביישומים קריטיים.

 

Integrated Gas Systems (IGS)

תכונות המוצר

  • משמש לבקרת גז בתעשיית המוליכים למחצה
  • עיצוב מודולרי
  • כל הרכיבים מורכבים על פני השטח בהתאם לתקן SEMl
  • הגודל הוא בערך 1/3 מהפאנל המסורתי
  • חומר סטנדרטי SEMl, תהליך ליטוש אלקטרו וריתוך מסלולי
  • Wseal ו-C-חותם אופציונליים
  • שקיות כפולות בחדר נקי
  • כל המוצרים, למעט "סוגריים", מיוצרים כולם בהתאם למפרט התהליך VS001A

 

ווסתי לחץ IGS סדרת VIR

1. מקסימום לחץ עבודה: 150 psig

2. מקסימום טמפרטורת עבודה: -40 מעלות F ~ 140 מעלות F (-40 מעלות ~ 60 מעלות)

3. לחץ יציאה: 0~100 psig

4. גימור פני השטח: מקסימום. 5uin. רא

5. חומר: 316L VIM-VAR

6. מושב שסתום: PCTFE (PFA/Vespel אופציונלי)

7. קיבולת זרימה: קורות חיים=0.08

 

IGS Pressure Regulators (VIR Series)

שסתומי דיאפרגמה IGS מסדרת VID

1. מקסימום לחץ עבודה: 150 psig

2. מקסימום טמפרטורת עבודה: PCTFE 14 מעלות F ~ 176 מעלות F (-10 מעלות ~ 80 מעלות); PFA 14 מעלות F~302 מעלות F (-10 מעלות ~ 150 מעלות)
3. ללא עיצוב ללא מוצא
4. המשטח הרטוב מטופל ב-EP, Max. 5uin. רא.

5. חומר: 316L VIM-VAR
6. 100% הליום-נבדקה-

7. קיבולת זרימה: קורות חיים=0.1

 

 

IGS Diaphragm Valves VID Series

שסתומי בקרת זרימה של IGS מסדרת VIM

1. מקסימום לחץ עבודה: 150 psig

2. מקסימום טמפרטורת עבודה: 14 מעלות F ~ 302 מעלות F (-10 מעלות ~ 150 מעלות)

3. איטום: FKM

4. המשטח הרטוב מטופל ב-EP, Max. 5uin. רא

5. קיבולת זרימה: קורות חיים=0.03

 

 

IGS Flow Control Valves VIM Series

שסתומי סימון IGS מסדרת VICV

1. מקסימום לחץ עבודה: 150 psig

2. מקסימום טמפרטורת עבודה: 14 מעלות F ~ 176 מעלות F (-10 מעלות ~ 80 מעלות)

3. גימור פנים: מקסימום. 5uin. רא

4. לחץ פיצוח: 0.33 psig

5. קיבולת זרימה: קורות חיים=0.2

 

 

IGS Check Valves VICV Series

מצע VlB Series (חותם C-)

1. ג-חותם
2. התקנה לא- קבועה כדי להבטיח את אפקט האיטום

3. החלק הרטוב מטופל ב-EP

4. גימור פני השטח: Max. 5uin.Ra

5. חומר: 316L VIM-VAR

Substrates VlB Series (C-seal)

 

סדרת מוצרי ליבה

  • ווסתי לחץ IGS (סדרת VIR)
  • שסתומי דיאפרגמה IGS (סדרת VID)
  • שסתומי בקרת זרימה של IGS (סדרת VIM)
  • שסתומי סימון IGS (סדרת VICV)
  • מצע וסוגרי IGS (סדרת VIB)
  • אטמים (סדרת VIG)
Gaskets (VIG Series)

 

למה לבחור ב-VIGOR IGS?

 

המערכות שלנו מייצגות סינרגיה של הנדסה מדויקת ותכנון מעשי, ומספקות:

  • יעילות שטח: גודל לוח מופחת באופן דרמטי.
  • אולטרה-טוהר גבוה: חומרים ותהליכים המותאמים ליישומים בדרגת מוליכים למחצה-.
  • גמישות מודולרית: קל לתצורה, הרחבה ותחזוקה.
  • אמינות מוכחת: בדיקות מחמירות ותאימות לתקן SEMI-.

 

ב-VIGOUR, אנחנו מציעים יותר מסתם רכיבים-אנחנו מספקים פתרונות משולבים שמביאים את הרעיונות שלך לחיים בביטחון ובדיוק.

 

 

שלח החקירה